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市場關注已久的台積電入股艾司摩爾案，昨日拍板定案。圖為台積電董事長張忠謀。

【楊喻斐╱台北報導】繼英特爾之後，台積電（2330）終於出招了！昨日晚間宣布將投資荷蘭艾司摩爾（ASML）8.38億歐元(約台幣310億元)以取得該公司5%股權，攜手開發下一世代微影技術。

繼 英特爾將砸下41億美元(約台幣1230億元)入股ASML之後，台積電也決定跟進並接受ASML的邀約，加入其『客戶聯合投資專案』（Customer Co-Investment Program），希望加速下一世代關鍵半導體製造技術—極紫外光(EUV)微影技術與450mm（18吋）晶圓微影設備的開發及量產。

取得該公司5%股權

根據協議，台積電將投資ASML 8.38億歐元以取得該公司5%股權，同時並承諾未來5年共投入2.76億歐元(約台幣102億元)支持ASML的研發計劃。
台 積電執行副總蔣尚義表示，縮小積體電路尺寸(IC scaling)目前所面臨的最大挑戰之一，在於如何有效控制日益攀升的晶圓製造成本，而台積電相信挹注ASML研發經費將確保並加快EUV微影技術的開 發，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進450mm晶圓製造技術的快速發展。
蔣尚義強調，ASML與台積電將延續之前193微米浸潤式微影技術的成功經驗，希望繼續攜手領先業界開發下一世代關鍵微影技術，這次的合作是雙方長期夥伴關係的自然延伸。
ASML執行長Eric Meurice也說，歡迎台積公司加入今年7月9日公布的客戶聯合投資專案，其目的是為了讓關鍵微影技術的發展順利且加速進行。這些技術不僅將使我們的投資夥伴受益，整個半導體產業也得以受惠。
台積電董事長張忠謀日前在法說會上即表示，公司已經是ASML的大客戶，不會藉由投資的方式來與ASML維持緊密的關係，如果同意投資ASML，原因只有一個，就是希望加速ASML在EUV技術的進程，對於將發展20奈米、或是更先進製程的台積電，長遠來說的確是好事。